2025-11-09 04:54:56
碳化硅要加外延层主要是为了让里面的原子排得更整齐。就像搭积木一样,外延层就是给碳化硅铺个原子层,让里面的原子一层层堆叠得规整。这样电流才能顺着原子排好的队伍走,不会乱窜。要是没有外延层,就像没规则的积木堆,电流就会乱跑,导致发热和漏电。
为什么必须用外延层呢?因为碳化硅晶体本身就像揉皱的纸,原子排列不整齐。外延层就像在皱纸上再铺张光滑的纸,把原子重新排成直线。根据前年中科院数据,外延层能让碳化硅电阻率从0.1Ω·cm降到0.01Ω·cm,相当于让导电能力提升10倍。而且外延层还能把晶格缺陷从每百万个原子里出现50个,降到5个,这样电流密度就能从10^5A/cm²提升到10^6A/cm²。就像给电流修了条专用高速公路,堵车和事故都少了。不过外延层太薄的话,原子层排不整齐,反而会出问题。所以得控制外延层厚度在0.5-1微米之间,既薄又稳。
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