高纯砷烷是用三甲基砷和氢气在高温下反应得到的，这种液体砷化合物纯度特别高，主要用于半导体材料提纯。高纯砷就是从自然矿石里提纯出来的金属砷，纯度要达到99.9999%以上，才能用在精密仪器里。制备过程得先熔化三甲基砷，再慢慢通入氢气，反应温度得控制在300到400度之间，否则容易生成杂质。得到的液体砷烷要放在真空罐里冷却，这样纯度才能保持住。

为什么得用三甲基砷和氢气反应呢？因为三甲基砷里的砷原子已经比较干净，氢气能带走残留的金属离子。实验数据显示，用这种方法得到的砷烷纯度能达到99.99999%，比直接升华金属砷高三个数量级。高温反应能减少砷原子与其他物质结合的机会，而真空冷却能避免空气里的氧气和水分污染。有研究说，如果温度低于300度，砷烷里会混入二甲基砷杂质，纯度就掉到99.999%以下。所以必须严格控制反应条件，就像炒菜要先用大火再转小火那样。