因为mems工艺能做出更小的传感器比如手机里的加速度计尺寸只有指甲盖那么大精度能达到微米级而且cmos工艺省电便宜适合造大量芯片手机里装十个传感器才耗电0点零五瓦所以现在都用这两种了

为什么选这两种呢首先mems工艺像搭积木一样在硅片上刻出微型机械结构比如陀螺仪的转轴只有头发丝细一半这样传感器才能装进手机缝隙里数据显示mems加速度计尺寸从2010年的5毫米缩小到2020年的0点5毫米精度从10微米提升到1微米而且cmos工艺像印电路一样能同时做电子元件和晶体管2010年1块晶圆能造3000个芯片现在能造8000个成本从0点8美元降到0点3美元所以现在手机芯片都混用这两种工艺既省电又便宜比如华为麒麟芯片里既有mems陀螺仪又有cmos处理器这样组合起来既轻又耐用还能省电30%以上呢