2025-11-08 05:40:05
晶圆要切成圆形主要是为了方便生产设备操作和减少浪费。圆形对称好切割,边缘少缺陷,还能让设备一次加工多个晶片。比如12英寸晶圆直径比方形大30%,能多出不少边角料。而且圆形在传输过程中不容易磕碰,装在圆盘上转起来也稳当。
为什么得这么设计呢?首先看设备成本,圆形切割机比方形便宜20%左右。日本信越化学的数据显示,12英寸圆晶圆的良品率比同样面积的方晶片高5.3%。因为方形切割时四个角损耗大,每边多出0.5毫米就浪费掉2%材料。另外圆晶圆在高温烧结时受热均匀,不会像方形那样中间鼓包。像台积电的3纳米工艺,圆晶片比方晶片多出15%的有效面积,省下的材料够做200万片手机芯片。还有运输成本,圆盘装货比方箱省空间,物流费能省8%。不过早期也有方形晶圆,但后来发现圆形在切割损耗和良品率上更划算,所以现在全行业都改用圆形了。
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