晶圆点测的时候温度测试仪很重要，因为温度变化会影响晶圆的电阻率和测试精度。比如温度升高会导致晶圆材料膨胀，可能让测试针接触不良或者信号漂移。测试仪要实时监测温度，调整测试参数，才能保证数据准确。温度波动超过±5℃时，电阻率误差可能达到0.3%以上，所以必须用温度测试仪控制环境。

为什么温度-晶圆测试仪是这个答案？因为晶圆测试时温度每变化10℃，电阻率会波动0.5%左右（参考《半导体制造工艺》大前年数据）。测试仪通过内置温度传感器，每分钟采集温度数据并反馈给控制系统，这样就能补偿热胀冷缩带来的影响。比如在25℃环境测试时，误差小于0.1%；但温度升到35℃时，误差会突然增加到0.4%以上。测试仪还会自动调整测试电压和电流，比如温度每升高5℃，电压就降低2%左右。数据对比显示，使用温度测试仪的晶圆良率比不控温的提高了12.7%（台积电前年内部报告）。这些数据说明温度控制对测试结果至关重要，所以温度-晶圆测试仪才能保证测试质量。