荷兰最新EUV光刻机一台要卖20亿到25亿欧元。这个价格比普通光刻机贵十倍多，因为EUV要用极紫外光，设备里装着价值数千万的激光光源和多层镜片。而且每台机器要调试半年才能用，调试期间每天都要花十多万欧元维护费。

为什么卖这么贵呢？首先研发投入就吓人，ASML公司过去十年专门做EUV光刻机，光研发就烧了超过100亿欧元。光刻机里最贵的部分是四个激光器，每个要3.5亿欧元，镜片要经过荷兰28家工厂联合打磨，光镜片就占设备总成本的40%。现在全球只有ASML能造，中国美国都限制出口，供需失衡更推高价格。去年一台EUV光刻机全球只卖出了7台，但日本台积电和三星已经预订了未来五年全部产能。不过现在美国又出新规，要求EUV光刻机必须经过美国审查，这会让交货周期再延长两年，价格可能涨到30亿欧元。