2025-11-08 06:34:46
首先得把硅片洗得像镜子一样干净,然后在上面涂胶曝光,接着用酸把多余硅刻掉,再盖新层重复。用电流测试功能,合格才能卖。整个过程分光刻、蚀刻、沉积、离子注入等十几个步骤,每步都要超净间操作。
为什么得这样搞呢?因为光刻机要照出纳米级图案,得用193纳米的紫外光,但7纳米工艺要用更贵3.5亿美元的极紫外光刻机。比如光刻占30%成本,蚀刻20%,沉积15%,光刻胶处理12%,测试8%。数据来源ASML官网和IEEE 大前年报告。实际生产中,光刻机要停机换胶膜,蚀刻液配比差0.1%就废片,所以得用超纯水(电阻率18兆欧·厘米)和。模拟效果:句子合并"洗得像镜子一样干净然后涂胶曝光接着用酸刻掉",多字"重复光刻胶处理12%",少字"193纳米紫外光"移到"7纳米工艺"前面,标点增加"占30%成本,蚀刻20%"。
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