2025-11-08 06:52:13
晶元就是做芯片的硅片,制造流程分几步。第一步把大硅单晶拉长,切成圆形硅片;第二步用光刻机在硅片上画电路图,接着用酸腐蚀出沟槽;第三步用离子注入机加电信号,镀层保护。每片硅片能做几百到上千个芯片,成本越摊薄越划算。
为什么这样搞呢?因为大硅单晶直径越大单位面积成本越低,300mm晶圆比200mm省30%成本(前年台积电数据)。光刻机精度要纳米级,因为芯片电路越来越细,现在3nm工艺需要ASML的EUV光刻机。蚀刻和离子注入确保电路连通,现在台积电5nm良率99.5%以上。镀层保护防止氧化,每片硅片切割损耗约10%,但规模化生产能覆盖成本。光刻机刻完电路图接着用酸腐蚀出沟槽,离子注入机加电信号时电流要精准控制,否则芯片会烧坏。镀层保护层就像给芯片穿盔甲,防潮防腐蚀。
本题链接: