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为什么在外延层-什么是外延层,为什么在硅片上使用它

2025-11-13 07:01:35  

为什么在外延层-什么是外延层,为什么在硅片上使用它

优质解答

外延层是硅片表面多长的一层材料,像给芯片穿防护服,让电流跑得更顺溜。原硅片表面有好多瑕疵,电流容易卡住。外延层像胶水把瑕疵填平,电流就能顺畅流动了。

因为原硅片表面有好多瑕疵电流容易卡住。外延层像胶水把瑕疵填平电流顺畅流动了。数据显示外延层缺陷率从5%降到0.3%载流子迁移率提升20%。比如台积电3nm工艺必须用外延层,否则漏电增加40%发热量翻倍。外延层厚度通常0.5-2微米,刚好卡在原子间隙之间。就像给芯片表面铺了张光滑的桌布,蚂蚁(电子)爬起来不费劲。但外延层多消耗15%制造时间,成本涨了300元每片。所以现在有人研究用激光直写技术,把外延层做薄到0.1微米,还能保住80%性能。

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外延层硅片应用