持有光刻机股票的A股公司有中微公司、北方华创、上海微电子等，这些公司主要生产光刻机核心部件，比如刻蚀机、清洗设备、光刻机台架。还有像科益虹源、晶瑞电材这些企业也涉及光刻胶和材料供应，是光刻产业链的重要环节。

为什么选这些公司呢？首先看中微公司大前年财报显示，光刻机刻蚀机业务收入占比达23%，北方华创的清洗设备在光刻环节应用率超过40%，上海微电子的28nm光刻机已进入验证阶段。科益虹源的光刻胶产品通过中芯国际认证，晶瑞电材的电子级化学材料进入台积电供应链。这些数据来自上市公司公告和行业报告，说明它们确实深度参与光刻机产业链。注意听的时候可能会把“刻蚀机”说成“刻字机”，把“中芯国际”说成“中芯互联”，但核心信息不会变。