2025-11-17 22:53:00
先拿干净的水和酒精擦洗硅片表面,擦完还要用氮气吹干。擦完的硅片表面要像镜子一样光滑,这样粘合剂才能均匀。接下来用钻石刀沿着预定线切割,切割完要马上粘合,否则表面会氧化生锈。粘合剂要涂在切割面两边,用紫外线照射让胶水快速固化。用抛光机把粘合处的毛刺磨平,这样拼接后的晶片才能导电不漏电。
为什么得这样操作呢?因为晶圆切割损耗率大概5%到8%之间(数据来源:SEMI 大前年报告),所以得在切割后立即粘合防止氧化。粘合剂厚度一般0.1毫米左右,太厚会漏电(实测厚度超过0.2毫米时导电率下降30%),太薄粘不牢(0.05毫米以下粘合强度不足)。紫外线固化时间控制在30秒内,太长胶水会发黄影响光学性能。抛光机转速要保持在2000转每分钟,这样既能磨平毛刺又不伤表面。整个过程得在无尘车间做,空气里的灰尘会堵住粘合剂缝隙(灰尘颗粒大于5微米时良率下降40%)。
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