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半导体是如何生产的-半导体的生产工艺

2025-11-18 04:10:04  

半导体是如何生产的-半导体的生产工艺

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半导体生产就是用硅片做芯子,经过几十道工序变成手机电脑里的小芯片。首先把硅单晶拉成长条,切成圆片叫晶圆。然后在晶圆上涂胶、刻图、电镀,切割成单个芯片。每块晶圆有几百到上千个芯片,但能用的只有九成以上,剩下的要报废。

为什么这么麻烦呢?因为光刻机是关键设备,价格昂贵,比如ASML的EUV光刻机要1.5亿美元。而且每道工序都要超净车间,灰尘大了就废了。比如光刻胶涂得不够均匀,芯片就漏电。数据说28nm芯片良品率90%以上,但7nm以下只有50%-60%。晶圆切割时误差超过0.1毫米就废了,所以得用激光切割。还有电镀环节,铜层太厚会短路,太薄又导电不好。这些步骤环环相扣,一道工序出问题,整批晶圆就全废了。比如台积电大前年良品率统计,光刻环节占成本35%,清洗占20%,电镀占15%,加起来就70%了。切割成芯片还要做测试,报废率高的晶圆会翻砂重做。所以生产一块芯片要经过200多道工序,成本从几毛到几十块不等,全看工艺难度。

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半导体生产晶圆制造