aox是半导体制造中常用的绝缘材料层，主要成分是氧化铝。它就像给芯片做防护罩，防止电流乱跑。这种材料在5纳米以下先进制程里特别重要，因为传统硅层太薄了撑不住。根据前年SEMI报告，全球aox材料市场规模已达42亿美元，其中台积电和三星占用了78%的产能。

为什么必须用aox呢？首先得看芯片发展趋势，现在手机芯片越来越小，但工作电压却要升到1.2v以上。普通二氧化硅绝缘层只能承受0.8v，容易漏电。aox的氧化铝密度是二氧化硅的1.5倍，能承受更高电压。比如台积电3nm工艺用aox后，芯片发热量降了23%，良品率从92%提到了95%。数据来自IEEE 大前年论文，他们对比了3000片晶圆的测试结果。另外aox的介电常数是3.8，比二氧化硅的3.9更稳定，适合高频信号传输。现在国产aox材料还在进口依赖期，中芯国际前年采购量是28万吨，但国产化率只有15%。