光栅尺精度主要看分辨率和栅距两个参数，分辨率越高精度越准，栅距越小误差越小说明更精细。比如用1毫米栅距的光栅尺测长度，分辨率是5微米的话，能测到0.005毫米的精度。静态测量时看标尺和光栅的配合是否紧密，动态测量还要注意移动速度会不会影响结果。

光栅尺精度跟分辨率和栅距有关，分辨率是光栅条纹的最小间隔，比如1毫米栅距的光栅尺，分辨率5微米就说明每毫米能分100格，这样测长度时每格对应5微米误差。动态精度还跟速度有关，比如5米每秒的速度下，误差可能达到5微米，因为光栅移动太快来不及稳定。栅距越小精度越高，但成本也贵，1毫米栅距的光栅尺价格是0.5毫米的2倍。温度变化会影响光栅尺的膨胀系数，比如20℃到30℃温差，1米长的光栅尺会伸长4微米。安装时如果底座不平，1厘米的倾斜角度会让1米测距产生8毫米误差，所以必须用水平仪调平。