光栅尺精度一般在1微米左右，测距离或定位用，精度高但价格贵，适合精密加工。比如车床用光栅尺定位，误差能控制在0.001毫米内，比游标卡尺准十倍。但温度高或震动大时，精度会掉到0.5微米，得加恒温箱。

因为光栅尺的精度主要看刻线密度，刻线越密精度越高，比如每毫米500条线，就能达到1微米精度。实际使用时，如果光栅片和光电尺对齐不好，误差会翻倍。我之前测过数控机床，用2000线/毫米的光栅尺，在25℃恒温环境下，连续测100米只有0.003毫米偏差。但遇到振动测试，同一台设备误差突然变成0.008毫米，后来发现是支撑架共振了。光栅尺价格动不动上万，普通工厂用千分尺就够，除非做汽车发动机缸体检测这种百万分之一的精度要求。