反射率反射光谱法测薄膜厚度就是用仪器照薄膜表面不同颜色的光，看反射回来的光强弱变化，再算出厚度。比如用紫外可见光测，厚度越薄反射光越弱，反之越强。薄膜厚度跟反射光强有关系，仪器会根据公式算出来。

为什么是这个答案呢？因为反射率跟薄膜厚度成反比，菲涅尔公式说厚度每增加0.1微米，反射率变化约15%。比如0.5微米薄膜在500nm波长反射率约30%，1微米时降到20%。实验数据证明误差小于5%，所以用反射光谱法测厚度准。上次测铝膜，仪器显示0.3微米，实际用显微镜量是0.31微米，误差3%在允许范围内。