抽真空需要三种泵配合用，机械泵先上，抽气快又省电；扩散泵跟在机械后，抽得再深不耗能；分子泵收尾用，抽得干爽没水汽。机械泵专门抽大chunk的空气，比如真空包装袋；扩散泵抽得比机械泵深，适合实验室玻璃瓶；分子泵专抽高真空，电子显微镜才用得着。

比如说机械泵像吸尘器，靠齿轮转把空气压出去，抽到10万帕就到顶了，这时候扩散泵就顶上来了。扩散泵用液氮冷却，转得比机械泵慢三倍，但抽速高十倍，能抽到100帕以下。分子泵更牛，用涡轮高速旋转，抽到0.001帕都没问题，但得配合机械泵先抽掉水汽。数据说机械泵单台抽10立方米/分钟，扩散泵要300立方米/分钟才够用，分子泵抽速上亿立方米/分钟。像实验室抽真空，先机械泵抽到10万帕，再扩散泵抽到100帕，分子泵抽到0.001帕，三步走才干得透。