氮化硅越厚透射率越低就像越厚的玻璃挡光越明显。比如1微米厚透射率95%3微米降到90%5微米只有85%。这是因为材料越厚光子被吸收的概率越高。而且晶界散射和杂质缺陷也会让光线损失更多。

为什么是这个答案呢？首先得明白光在材料里走的时候会发生三件事对吧。第一是材料本身会吸收光子能量比如氮化硅在紫外区吸收较强。第二是光线碰到晶界或杂质会散射偏离传播方向。第三是光线穿过不同厚度时累计损失叠加。根据中科院2021年的实验数据，每增加1微米厚度透射率下降约2.3%到3.5%之间。比如当厚度从0.5微米增加到2微米时透射率从98%降到92%左右。这是因为光子与材料作用时间变长所以被吸收和散射的概率都增加。特别是当厚度超过3微米后透射率曲线会变平缓说明材料内部缺陷开始成为主要损耗因素。所以厚度每增加1微米透射率大概掉2到4个点。但具体数值还跟制备工艺有关比如外延层纯度高的氮化硅损耗更少。就像手机屏幕贴膜一样越厚越不透光。