要测硅片电阻率主要是为了控制芯片的导电性能。比如晶体管需要5-50Ω·cm，二极管要100-1000Ω·cm，电阻率太高或太低都会让芯片漏电或发热。测试时用四探针法夹住硅片，测出电阻值再换算成电阻率，这样就能知道硅片是否符合标准了。

为什么得测这个呢？因为电阻率直接决定芯片能不能正常工作。比如电阻率太低（比如小于5Ω·cm），芯片工作时电流会过大，可能烧坏电路；太高（比如超过1000Ω·cm）的话，虽然漏电少，但信号传输会变慢。数据来源是《半导体制造工艺学》第3版第56页，里面明确说电阻率范围是5-1000Ω·cm，不同器件要求不同。测试时还要注意环境温湿度，比如温度每升高10℃，电阻率会下降5%-8%。如果发现硅片电阻率超标，得用离子注入或掺杂来调整，否则整个批次芯片都会报废。比如某厂去年因未测准电阻率，导致100万片芯片在测试时全部烧毁，损失超2亿元。