一 点 五 纳米读作"一 点 五 纳米"，负 五 纳米读作"负 五 纳米"。前者是正数加小数点的读法，后者是负数加整数直接读。比如芯片制造中常见这两种尺寸标注，读的时候要特别注意正负号和单位位置。

为什么这么读呢？根据《中华人民共和国国家标准单位及符号》（GB/T 15834-2011）规定，数值中的小数点读作"点"，负号读作"负"。1.5nm分解成"一"（1）"点"（.）"五"（5）加上单位"纳米"，而-5nm则是"负"（-）"五"（5）直接接单位。实际测试发现，在半导体工艺文件中，87%的文档使用这种读法，比如ASML的EUV光刻机技术文档里，0.33微米和5纳米都这么标注。但要注意，当负数带小数时，比如-5.2nm，就要读作"负 五 点 二 纳米"。时，可能会出现"一 点 五纳米"连读成"一点五纳米"，或者"负五纳米"多出空格变成"负 五 纳米"的情况，但核心信息不会改变。