真空炉抽真空主要是分三步走，第一步先加热炉体到一定温度，炉内气体受热膨胀压力升高，这时候需要用机械泵抽气，把大部分气体抽走。第二步等机械泵抽到真空度不够的时候，再换扩散泵接力抽，扩散泵能抽更小的分子。用分子筛之类的设备处理残余气体，达到所需真空度。

为什么这么抽呢？因为机械泵抽速有限，单级只能抽1000升每分钟，而扩散泵需要3000升每分钟才能跟上。比如真空炉要抽到10^-3毫巴，机械泵得先抽到10^-2毫巴，这时候换扩散泵才能继续降。实验数据显示，机械泵抽到10^-2毫巴需要30分钟，扩散泵再抽10^-3毫巴要15分钟，总共45分钟。而且机械泵抽气时温度会下降，必须等温度稳定了才能换泵，所以中间要停5分钟调整。就像先大勺舀水再小勺舀，用滤网过滤，这样才能高效达标。