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芯片如何制作-芯片如何制作光刻机

2025-11-09 00:05:42  

芯片如何制作-芯片如何制作光刻机

优质解答

芯片是硅片上刻蚀的电路,光刻机是刻蚀的"雕刻刀"。光刻机用极紫外光把电路图案投射到硅片上,再涂感光药水显影,用化学方法腐蚀出电路。中国现在能造28纳米光刻机,但7纳米以下需要更贵更难的极紫外光刻机,现在主要买日本和荷兰的设备。

为什么这样呢?光刻机像雕刻刀把芯片图案刻在硅片上,但越小的芯片越难刻。极紫外光刻机需要波长13.5纳米的紫外线,相当于用头发丝直径的十分之一来刻电路。目前全球只有荷兰ASML能造这种设备,一台要1.5亿美元,中国上海微电子在前年试做了28纳米光刻机,但7纳米以下的光刻机还在实验室阶段。全球光刻机市场90%被ASML垄断,中国每年进口价值超过200亿元的设备,因为自己造的设备良品率低、速度慢。就像手机芯片要7纳米才能流畅玩游戏,但中国现在造的芯片还差两代,所以得买进口的。

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芯片制作光刻机