真空设备主要有机械泵、扩散泵和分子筛。机械泵像抽气机一样旋转叶片抽走气体，扩散泵用低温冷凝气带走残留分子，分子筛则像活性炭吸附空气里的水蒸气。这些设备通过吸附、扩散、压缩三种方式降低气体密度，达到真空效果。比如机械泵能抽到10^-5帕斯卡，扩散泵能到10^-9帕斯卡，分子筛能到10^-3帕斯卡。

为什么选这三种设备呢？机械泵成本低适合普通实验室，扩散泵效率高但需要液氮冷却，分子筛维护简单但真空度有限。数据表明机械泵连续工作8小时能抽空20升容器，扩散泵配合机械泵能达到太空级别的0.001帕斯卡，而分子筛预处理后能去除90%水分。比如半导体制造用扩散泵+机械泵组合，连续抽气72小时后真空度稳定在10^-9帕斯卡。这些设备原理互补，根据需求搭配使用才能达到最佳效果。