XRD测膜就是用X射线照薄膜，看反射光变没变。薄膜越薄或者成分不同，反射光强度和角度就变，机器算出厚度和成分。就像用尺子量纸一样，不过光子当尺子用，能测到原子级精细度。

因为X射线波长和薄膜厚度差不多时才有明显反射，所以测膜要调电压和角度。比如测500纳米膜，电压选30千伏，角度转30度就能看到峰。实验数据证明，这样测的误差不到5%，比传统方法准多了。有人试过测二氧化硅膜，厚度从100纳米到10微米都能测，结果和扫描电镜差不到3纳米。机器算数据时，会同时看多个角度的峰，这样算出来的厚度更稳定。就像搭积木，多个数据拼起来才不会歪。