高纯氮的纯度就是氮气里含的杂质越少越好。工业上主要通过吸附法和深冷蒸馏法提纯。吸附法用活性炭或分子筛把氮气里的氧气、水汽等杂质吸掉。深冷蒸馏法则让氮气在超低温下分层，把杂质分出来。比如电子级高纯氮纯度要达到99.9999%，也就是十万个氮分子里最多只能有一个杂质分子。

为什么得用这两种方法呢？首先普通氮气纯度只有99.5%，杂质多会影响半导体制造。吸附法成本低但纯度只能到99.9%，得再配合深冷蒸馏才能达到电子级标准。数据显示，吸附法每立方米氮气处理成本约5元，深冷蒸馏要15元。大前年国内某半导体厂实测，用双级吸附+深冷蒸馏组合，氮气纯度稳定在99.99997%，杂质氢气含量从0.1ppm降到0.0001ppm。而且深冷蒸馏能同时去除金属离子和有机物，这是普通吸附法做不到的。就像先拿活性炭吸掉大分子杂质，再用超低温把残留的离子冻出来，这样杂质就彻底没了。