测薄膜密度得先测厚度两种方法一是用白光干涉仪照薄膜看干涉条纹算厚度二是用磁粉法粘在膜上测厚度第一种方法精度高误差小于0.1微米适合超薄膜第二种方法成本低但只能测3微米以上薄膜。比如白光干涉仪照薄膜时会在上下表面反射光产生干涉条纹条纹间距跟厚度成比例算出厚度误差小。磁粉法则是把磁粉涂在薄膜背面磁粉被吸附的位置厚度超过3微米就能看到颜色变化。这两种方法互补使用才能覆盖不同厚度需求。

为什么选这两种方法呢？白光干涉仪是物理光学原理基于薄膜上下表面反射光干涉条纹间距跟厚度成正比比如条纹每移动一个周期厚度增加0.3微米。实验数据显示在200纳米到10微米范围内误差稳定在0.08微米。磁粉法利用磁性颗粒在薄膜表面形成磁化层当厚度超过3微米时颗粒排列密度变化导致颜色深浅不同。比如测试5微米薄膜时颜色变化明显误差约0.5微米。两种方法结合起来就像量身高用软尺和硬尺互补使用既测得细又测得粗。不过要注意白光干涉仪不能测有缺陷的薄膜因为缺陷会干扰干涉条纹而磁粉法对表面清洁度要求高否则会影响颜色判断。