拉曼光谱就是用激光打材料看光的颜色变化，材料内部原子振动会改变光的频率，应变就像材料被拉长或压扁了，原子间距变化会让特定峰的位置往左或往右偏移。比如硅的拉曼峰原本在520cm⁻¹，如果应变达到1GPa，峰就会偏移到515cm⁻¹左右，通过计算偏移量就能知道应变大小。

为什么这样算得准呢？因为原子振动频率和晶格常数是线性关系，应变每增加0.1%，对应峰位偏移0.05cm⁻¹左右。比如在半导体应变片测试中，当硅片被机械压到0.5%应变时，543cm⁻¹的峰会变成541.5cm⁻¹，误差不超过±0.02cm⁻¹。实验数据表明，这种线性关系在-0.5%到+2%应变范围内成立，相关系数R²超过0.99。实际应用中，先校准标准样品的峰位变化，再测未知样品，就能算出应变值。比如某公司用此方法测得蓝宝石晶圆的残余应变是0.3%，比传统方法快3倍。