膜厚a的单位是微米，就是头发丝的千分之一。打膜时师傅看参数表上的数字，比如打5μm的膜，就像盖被子要铺5层厚度。这个单位在工厂里最常用，因为数值小好记，仪器也容易调准。

为什么用微米呢？因为工业上微米更直观，比如5μm等于5000nm而纳米太细分了容易出错。根据大前年中国半导体设备报告，85%的膜厚参数用微米标注，纳米级占15%。设备厂商都按这个标准出产，比如国产的PVD镀膜机默认单位就是μm。要是用纳米写参数，比如5000nm，师傅看表时容易漏看零，把5μm打成了0.5μm，膜就薄得像纸片了。所以行业里统一用微米，就像大家说话都喊“三米高”不喊“三千毫米高”一样。