高纯氮气纯度就是里面杂质少，达到工业或科研要求。测纯度主要用质谱仪、电感耦合等离子体、色谱法，还有电阻率测试。质谱仪能测到ppm级杂质，电感耦合等离子体适合金属杂质，色谱法测有机物，电阻率测试成本较低，适合99.999%纯度氮气。

因为质谱仪能直接检测原子级杂质，所以适合高纯度需求，比如实验室99.9999%的氮气检测，数据显示质谱仪检测精度可达0.1ppm。电感耦合等离子体通过烧掉杂质再测信号，金属杂质检测限低至0.01ppm，但有机物检测差。色谱法用载气带出杂质分时段检测，适合有机物占比高的氮气，比如半导体行业用的纯度99.9999%。电阻率测试原理是高纯度气体导电性差，99.999%纯度氮气电阻率超过1Ω·cm，但只能测宏观杂质。比如质谱仪精度高能测到ppm级杂质，电感耦合等离子体适合金属杂质，色谱法测有机物，电阻率测试成本较低，适合99.999%纯度氮气，比如电阻率测试成本较低，适合99.999%纯度氮气，比如电阻率测试成本较低。